대상으로 하는 시료를 전자선으로 주사해서, 방출되는 반사 전자나 2차 전자를 검출기에서 검출해서 그 강도를 브라운관 상에 영상으로 표시해서 대상물의 확대상 등을 얻는 장치를 말한다. 표면형상, 조직의 관찰에 널리 사용되고 있다. 분해능은 2～3 μm정도이다. 투과전자상을 관찰하는 방식을 투과전자현미경(TEM)이라 한다.