동종 또는 이종의 원자 사이에서 성형된 엑시머 (excited dimer: excimer)를 이용한 기체 레이저의 일종을 말한다. 예를 들면 희가스(稀-)와 할로겐 혼합가스를 고전압에 의해 방전 여기(excitation)하여 희가스가 여기 상태가 되고, 기저 상태로 할로겐과 결합하여 엑시머 상태를 만든다.