공정, 계장, 시설 등의 이상 유무를 판단하기 위하여 특정 장비를 사용하여 결과치를 얻는 행위 등을 말한다. 공정 계장 시설 및 공정분야의 진단은 내화 시스템, 긴급방출시스템, 인터록 시스템, 위험성 평가 등을 대상으로 하며, 분야별 또는 전반적으로 실시한다. 전기·계장 분야 진단은 비상 전력, 접지, 방폭, 전기 방식, 절연, 제어시스템 및 회로분석, 가스누출 경보시스템, 통신시스템 등을 대상으로 하며, 분야별 또는 통합적 진단으로 실시한다. 주요 진단 장비로 열화상 분석기는 고온 설비의 열 분포상태를 측정하여 열 누출 여부, 국부적 과열상태, 전기 설비의 누전 상태, 유체 누출 상태 등을 정밀측정 분석한다. 튜브검사장비(IRIS 9000)는 업체의 정기보수기간 등을 이용하여 열교환기 튜브의 내·외면 부식 및 두께상태를 측정 및 진단한다. 산업용 내시경으로는 압력 용기, 배관 내부 등 육안으로 볼 수 없는 부분에 대한 검사를 수행한다. 페라이트메타로는 오스테나이트계 스테인리스강의 페라이트 석출 여부를 파악하여 열화 정도를 파악한다. 침탄 측정기는 고온에서 사용하는 탄소강 중에 탄소침투상태를 측정하여 열화 정도를 파악한다. 경도 측정기는 고온설비의 열화 정도와 재질 물성을 측정하고 용접부의 열처리 상태를 평가한다. 잔류 응력 측정기로는 압력용기 및 배관 용접부의 잔류 응력값을 파악하여 열처리 여부, 용접 적합성 등을 분석한다. 분석 가능한 이상 원인으로는 다음과 같다.

1. 축 베어링 파손, 외륜, 내륜, 운동체, 지지대(support)

2. 미끄럼 베어링의 금속마찰, 흠집, 오일부족

3. 축 계통의 축 수부마모, 키(key) 홈 마모, 윤활유 부족, 불균형(unbalance), 기초상태, 공진

4. 벨트(belt)의 이완 등