수소(H) 및 헬륨(He)을 제외한 모든 원소에 대한 표면원소 분석법의 일종을 말한다. 고체시료 표면을 소속의 전자선으로 조사하여 여기시키면, 표면의 전자가 전리되어 내각(內殼)에 공공이 생긴다. 이온화 상태의 완화과정에서 전자가 방출되는 현상은 1925년에 이 현상을 발견한 M.P. Auger에 의해서 오제효과라고 알려졌고, 방출되는 전자를 오제전자라 한다. 이 오제전자는 깊이 수십～수nm 정도의 시료 표면층으로부터 방출되며 각 원자의 특유한 에너지를 가지고 있다. 공간분해능이 ～20 nm로 높고 ～0.1원자%의 고감도로 비교적 정량성이 우수한 분석법이다.