미소의 누출을 검지하는 하나의 방법으로, 피검사물의 내부에 할로겐 가스를 봉입하여, 누출을 할로겐 가스검지기로 검지한다. 일반적으로 트레이서가스(tracer gas)로 사용하는 할로겐계 가스로는 프레온 가스를 사용하는 경우가 많다. 검지감도는 10-6 atm·cm3/s 정도로 알려져 있다.