가스 중에 있는 불필요한 물질의 축적을 막기 위해 연속적인 순환계로 기체를 뽑아내는 것을 퍼지라고 하며, 진공을 이용하는 것을 진공퍼지라고 한다. 진공 퍼지는 용기에 대한 가장 통상적인 인너팅 절차로서 이 방법은 큰 저장용기에서는 사용될 수 없다. 왜냐하면, 큰 용기는 보통 진공에 견디도록 설계되지 않아서 수 인치의 수주 압력정도만 견딜 수 있다. 그러나 반응기는 완전진공이 가능하도록 설계된다. 진공퍼지는 반응기에 일반적으로 쓰이는 절차이다. 진공퍼지 공정단계는 다음과 같다. ① 용기가 원하는 진공도에 이를 때까지 용기를 진공으로 한다. ② 질소나 이산화탄소와 같은 불활성가스를 주입하며 대기압과 같게 한다. ③ ①,②를 원하는 산소농도가 될 때까지 반복한다.