금속을 고온으로 가열하여 증발시켜 그 증기로 금속을 박막상으로 부착시키는 방법을 말한다. 일반적으로 진공 속에서 이루어지므로 진공증착이라고도 한다. 응용 예로 실리콘 트랜지스터에서는 실리콘에 직접 리드선을 달기가 어려우므로 기판의 베이스 및 이미터 부분에 알루미늄을 증착시킨다.